退火条件对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

关 键 词:薄膜结构
资料等级:退火条件对ZnO薄膜结构和光学性能的影响
发布时间:2018-11-29
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资料编辑:yujiaojiao110
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用Sol—Gel法在硅衬底衬底制备了ZnO薄膜,分析了退火温度对ZnO薄膜的结构和光学性能的影响。随着退火温度提高,ZnO膜晶粒增大,室温下观察到明显的紫外发光现象,随着退火温度的提高,其PL谱峰值变强,并有红移现象。

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