某硅晶片生产厂房净化空调设计

关 键 词:净化空调设计
资料等级:某硅晶片生产厂房净化空调设计
发布时间:2017-12-18
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    该工程位于辽宁沈阳出口加工区内,是集科研开发、生产制造为一体的专业SOI晶圆生产厂房。其工艺流程为:原材料SO1晶圆片经氧化、离子注入、键合、切割、退火、抛光等工序后成品出厂。该项目主要生产厂房6100 mz,生产配套辅建(含废水处理站、特种气体站、柴油发电机房等)8o0 mz。其中洁净室面积约为1600 m2(一期),2009年10月试投产,完成用TM—SO1技术年产4英寸一8英寸SOI晶圆10万片工业化生产项目。厂房平面图见图1。该工程洁净室洁净级别主要为ISO 4.5级和ISO5.5级,局部ISO 2.5级。室内设计参数见表1。

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