某硅晶片生产厂房净化空调设计

关 键 词:暖通空调论文
资料等级:某硅晶片生产厂房净化空调设计
发布时间:2017-1-5
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资料简介
某硅晶片生产厂房净化空调设计 该工程位于辽宁沈阳出口加工区内,是集科研 开发、生产制造为一体的专业SOI 晶圆生产厂房。 其工艺流程为:原材料SOI 晶圆片经氧化、离子注 入、键合、切割、退火、抛光等工序后成品出厂。该 项目主要生产厂房6100 m2,生产配套辅建(含废 水处理站、特种气体站、柴油发电机房等)800 m2。 其中洁净室面积约为1600 m2(一期),2009 年10 月试投产,完成用TM-SOI 技术年产4 英寸~8 英寸 SOI 晶圆10 万片工业化生产项目。厂房平面图见图 1。该工程洁净室洁净级别主要为ISO 4.5 级和ISO 5.5 级,局部ISO 2.5 级。室内设计参数见表1。
编辑评价
结合某硅晶片厂房洁净室净化空调系统的实例,介绍了洁净室的净化空调设计原则、气流组织形式、空气处理过程。并对空调系统的自控问题进行了阐述和讨论。
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