某电子厂房洁净空调加湿方式的选择

关 键 词:厂房洁净空调
资料等级:某电子厂房洁净空调加湿方式的选择
发布时间:2017-11-7
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现代化的工业生产对空气湿度的重视程度日益 提高,要求也越来越高,对于电子芯片厂房,如果 湿度不能满足要求,将会静电增高,使产品的成品 率下降、芯片受损,严重影响企业生产。 本工程为集成电路产品的生产项目,洁净区平 面为岛型布置,操作区洁净度为4.5 级,由于生产 工艺的要求,对温、湿度的要求很高:温度 21℃± 0.5℃,相对湿度40% ± 3%;设备区洁净度为5. 5 级,无特定温、湿度要求。净化空调系统采用 风机过滤单元(FFU)+干表冷器+新风处理机组 的型式。操作区为送风区,设备区为回风区 。

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